有時候由于濾波補償模塊的溫度過高會造成某些部件的燒灼產生變形損傷現象，所以就要使用一些方法對它進行檢測。
一、熱紅外測溫技術
基于熱紅外的濾波補償模塊測溫是利用紅外測溫槍、紅外成像儀及紫外成像儀等熱感應設備進行非接觸式測溫。其優點是測量范圍大，準確度較高，可靠性較好，但是設備儀器昂貴，且需大量人力進行定期巡測，無法實現溫度的實時在線監測。
二、蠟片測溫法
石蠟片的顏色會隨溫度的變化而變化，因此，可利用石蠟片來測量濾波補償模塊的溫度。具體方法是，將石蠟片粘貼于設備連接部位，根據其顏色來判斷被測溫度，這種方法由于原理簡單、成本低廉而獲得廣泛應用。但其需要憑個人經驗來判斷溫度，因而準確率和可靠性比較低，另外也不能進行定量測量和實時在線監測。而且對高壓開關觸點、電纜接頭等易發熱部位因為在運行時幾乎看不見而無法測量。
　　檢修維護時測量濾波補償模塊的每相主導電回路的電阻值。觸頭接觸電阻與觸頭間的壓力有關，接觸電阻越小正常運行時其性能就越穩定。